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3D共聚焦顯微鏡的測量原理
3D共聚焦顯微鏡
是一種用于信息與系統(tǒng)科學(xué)相關(guān)工程與技術(shù)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器。用于測量表面物理形貌,進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析,如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等。
可針對如下需求開展測試:
(1)檢測對表面磨損,表面粗糙度,表面微結(jié)構(gòu)有要求的精密部件;
(2)MEMS,微型器件的檢測,醫(yī)藥工程中組織結(jié)構(gòu)的檢測,如基因芯片等;
(3)半導(dǎo)體:檢測微型電子系統(tǒng),封裝及輔助產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計;
(4)太陽能:電池片柵線的3D形貌表征、高寬比測量。
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